全国首个MOR核心技术 国产EUV光刻胶启动 本次大会上宣布了多个重磅项目,除了算力平台外,还有2个值得关注的——无锡先进制程半导体纳米级光刻胶中试线作为全国首个掌握MOR型光刻胶核心原材料、配方及应用技术的创新平台,其研发生产的光刻胶将对标世界一流水准。 光刻胶 国产euv mor euv光刻胶 mor核心 2025-09-09 13:36 3